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반도체산업 동향과 반도체 장비 공정 기술개발 전략 / 집필총괄 : BIR research group
반도체산업 동향과 반도체 장비 공정 기술개발 전략 책표지
  • ·표제/책임표시사항 반도체산업 동향과 반도체 장비 공정 기술개발 전략 / 집필총괄 : BIR research group
  • ·발행사항 서울 : BIR(비아이알), 2012
  • ·형태사항 289 p.:삽화, 도표;30 cm
  • ·표준번호/부호 ISBN: 9788966670437  93560: \290000 
  • ·분류기호 한국십진분류법-> 569.4  듀이십진분류법-> 621.38152  
  • ·주제명 반도체 산업[半導體産業]
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신청 편/권차 편제 저작자 발행년도 등록번호 청구기호 자료있는 곳 자료상태 예약자 반납예정일 매체구분
집필총괄: BIR research group 2012 SE0000021536 569.4-13-3 일반자료실(서고) 서고 비치(온라인 신청 후 이용) 0 - 인쇄자료(책자형) 
※ 신청 종류
- 대출예약신청:
자료상태가 ‘대출중’인 경우 해당 도서를 예약하여 도서 반납 시 우선적으로 대출받을 수 있는 서비스
- 청사대출신청:
정부세종청사(6-3동, 2-1동)에 위치한 무인예약도서대출반납기에서 도서 수령‧반납이 가능한 서비스
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목차


제1장 반도체산업과 반도체 장비ㆍ공정 기술동향과 정책방향
1. 반도체산업 개요
2. 반도체산업 기술개발 전략과 동향

제2장 반도체장비 관련 핵심기술 개발전략과 과제
1. EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼검사 기술개발
2. 반도체 장비ㆍ재료 성능평가 협력사업
3. 차세대 메모리용 3D 적층 신소자 및 핵심소재 공정 기술개발
4. 포미세 고신뢰성 배선기술 개발

제3장 반도체장비 관련 기술개발 과제와 참여업체 현황
1. 반도체 관련 기술개발 과제현황
2. 반도체 장비 관련업체

제4장 참고자료
1. 2012 IT 시장도향
2.신성장동력 7대 장비산업 지원과제 선정